SolidSpec-3700i/3700iDUV - 應用資訊

SolidSpec-3700i/3700i DUV 紫外/可見光-近紅外光分光光譜儀 (UV-Vis-NIR)

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雙偵測器和三偵測器型號的比較

除了光電倍增管 (PMT) 和冷卻的 PbS 偵測器以外，新使用一個 InGaAs 偵測器。
這會導致較雙偵測器 (PMT 和 PbS) 型號更低的雜訊，特別是在 InGaAs 偵測器偵測的範圍內 (900 至 1,600 nm)。

Comparison of 2-Detector and 3-Detector Models

以最低的偵測器轉換雜訊和擾動進行高準確度量測

降低偵測器轉換造成的雜訊和擾動以確保準確量測。

Noise and bump caused by detector switchover are minimized

濾光板和聚酯膜的透射光譜，分別如左圖和右圖所示。
幾乎觀察不到偵測器在 870 nm 和 1,650 nm 的轉換範圍造成的雜訊和擾動。

用於深紫外光量測的積分球

Integrating Sphere for Deep Ultraviolet Measurement

即使對於接近 190 nm，也可取得低雜訊光譜，這是使用一般分光光譜儀也難以準確量測的波長。在此波長範圍內量測光譜的能力，在量測用於 ArF 準分子雷射的半導體材質時特別有用。

左圖顯示在配備用於深紫外光量測的積分球之 SolidSpec-3700i DUV，以及配備一般積分球之 SolidSpec-3700i 上，所測得的 100% 基線光譜。

深紫外光區域中的應用

Application for Deep Ultraviolet Region

為了在深紫外光區域內進行高準確度量測，需要充裕的光量和夠低的雜散光。左圖顯示以直接量測裝置 DDU-DUV (選配) 量測的矽板之透射光譜。在紫外光區域中，可取得雜訊較低的光譜。