薄膜厚度定量分析

從汽車、火車、飛機到常常使用的電腦和手機,與金屬相關的製品存在於我們所生活的事物中。談到金屬的各種運用,其中一個重點是塗層。而塗層的優點,在於增加耐腐蝕性、耐磨性、可焊性、可機械加工性、硬度、亮度等等。依賴塗料的行業包括汽車、航空航太、醫療設備、建築業及電子產品等等。金屬塗層有多種物質,包括鉻、鎳、金等等。

Shimadzu EDX 裡中薄膜 FP 法可用於測量多層膜的厚度或同時量化膜的厚度和組成。

SIM 卡與 IC 卡晶片薄膜厚度

  • (晶片上鍍層順序)

  • 標準片:NMIJ CRM 5208-a

 

 
根據 X 射線理論強度與 Cu 膜的厚度 [µm] 如圖 4 所示。
飽和厚度的強度定義為飽和厚度的 90% Cu 膜具有無限大的厚度 (JIS H8501),故 Cu 的厚度定量上限為約 18 µm ,超過 18 µm 皆為無限大 (無法被定量之厚度)。

 

  • 分析結果:厚度