TOC-1000e S - 特色
TOC-1000e S 線上總有機碳分析儀
對難以氧化之化合物具備卓越的檢出靈敏度
高校氧化能力,精準檢出尿素等難氧化化合物
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在半導體製程中,超純水需由多種水源經過多重製程純化而成,在此過程中,必須盡可能去除水中所有雜質。其中,尿素屬於難以氧化分解的物質,因此特別不易去除。若超純水中殘留尿素,可能產生氨氣,進而對後續半導體材料製程造成不良影響。
傳統採用相似原理的線上 TOC 分析儀,往往存在檢出能力不足的問題。TOC-1000e S 採用 Active-Path 光學結構設計,使水樣暴露於來自準分子燈的高能短波光源中,可有效實現對尿素及其他難氧化有機化合物的高靈敏檢測。
Defective part on the circuit
可即時快速回應污染事件
確保快速檢出水中雜質
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及早偵測超純水中是否含有雜質,可有效預防半導體材料於製程中發生缺陷。TOC-1000e S 採用簡潔的量測流路設計,將準分子燈與導電度感測器串聯配置,使水樣能持續流經量測回路,達成對突發性污染的即時監測。
內部構造與量測原理
業界領先的輕巧緊湊設計
輕巧機身設計,安裝彈性高
量測據點彈性移動,部署更靈活
TOC-1000e S 機身小巧,重量僅約 3 公斤。除可放置於桌面使用外,亦可透過選購之固定支架組,輕鬆安裝於牆面或管線上。無論採用何種安裝方式,皆可在機身側邊加裝注射瓶取樣器,利於現場進行校正作業。
此外,TOC-1000e S 亦可快速移動至不同量測位置,於既有儀器保養或維修期間,作為備用機使用,確保監測作業不中斷。
高可視性顯示介面與狀態指示燈
配備大型顯示螢幕與清晰直覺的操作介面,使操作畫面清楚易讀,不論是日常檢查、資料輸出或設備維護作業,皆能有效提升工作效率。多色狀態指示燈可即時顯示儀器運作狀態,協助使用者迅速掌握設備情況。
Monitor Display
Indicators
以人性化操作設計,實現高效率工作流程
一年免維護設計,免工具即可更換耗材
本機採用簡潔的結構設計,例行性更換零件僅需一年一次,可大幅降低維護負擔。
主機內僅需定期更換準分子燈與泵浦頭兩項零組件,皆可由機身正面直接存取,無需使用任何工具即可輕鬆拆裝,讓保養與耗材更換更加快速便利。

更換準分子燈

更換泵浦頭
搭配注射瓶取樣器與認證標準液之現場校正
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透過選購之注射瓶取樣器與認證標準溶液,可於現場輕鬆進行校正與驗證作業,操作流程簡單明瞭、易於執行。
此外,在多台設備同時運作的環境中,亦可與參考儀器進行線上校正,有效優化超純水品質控管,確保各量測點數據一致性與可靠性。
Certified Standard
Solutions
支援多種資料輸出格式與 Web 瀏覽功能
資料輸出格式清楚易讀,操作更直覺
eTOC 量測資料可直接儲存至 USB 隨身碟,並以文字檔(CSV 格式)或 PDF 格式輸出,方便後續管理與分析。
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文字檔
支援以逗號分隔(CSV)或定位字元分隔(Tab-delimited)格式輸出,可直接匯入 Excel 等試算軟體進行資料分析。
文字檔
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每日報告(PDF 檔案)
每日量測結果可自動彙整成報告,內容包含數據表格與趨勢圖,清楚呈現水質變化狀況,一目了然。
每日報告
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外部輸入/輸出
使用標準配備的外部 I/O 模組,量測數值可透過類比訊號(4–20 mA)輸出,亦可藉由接點輸出傳送警報或事件訊號,方便與現有監控系統整合。
隨時隨地進行線上監控量測數據
只要將 TOC-1000e S 連接至網路,即可透過電腦或平板於遠端查看量測數值。資料可透過 Web 瀏覽器存取,無需另外安裝專用軟體,並可直接下載檔案保存。
即使設備架設於偏遠地點或為多台設備同時運作,也無須現場巡檢,即可輕鬆掌握運行狀況。

無汞準分子燈
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TOC-1000e S 為全球首款採用準分子燈作為氧化光源的線上 TOC 分析儀。準分子燈可輸出高能量 172 nm 紫外光,並能瞬間啟動或關閉,僅於氧化時運作,有效降低光源劣化並延長使用壽命。此外,搭配島津獨家的 Active-Path 光路設計,可使水樣高度效率地暴露於準分子燈所發出的高能光源中,確保有機物能被完全氧化,達成極高的量測準確度。
Active-Path 光路結構設計
- 光源與樣品流路一體化設計。
- 光源為包覆流路的設計,而非與流路分離,使水樣能有效暴露於紫外光中,提高氧化效率。
- 量測流路採用簡潔結構設計,可有效降低污染與殘留影響。
- 燈罩採用抗 UV 材質製作,可避免人員誤觸紫外光,並防止儀器內部產生臭氧,兼顧安全與設備穩定性。
常見儀器問題

- 由於空氣對紫外光具有吸收作用,導致紫外線無法有效照射至樣品。
- 距離光源較遠的區域,紫外光作用效果有限。
- 空氣中的氧氣與紫外光反應,易在儀器內部意外產生臭氧。
